Katalog Bilgileri
KatalogiD: 5131123
DersKodu: FİZ503
DersAdi: İnce Filmler
DersAdi(İngilizce): Thin Films
Teo: 3
Uyg: 0
Lab: 0
Kredi: 3
ECTS Kredi: 6
icerik: Bazı temel bilgiler. Vakum fiziği ve teknolojisi. İnce film depolama yöntemleri. Termal buharlaştırma, sıçratma. Lazerle işlem, kimyasal buhar depolama. İnce filmlerin temel özellikleri. İnce film büyütmesi. İnce filmlerin özellikleri. Epitaksi, ince filmlerin mikroyapısının gelişimi. İnce filmlerde reaksiyonlar ve yayılma. İnce filmlerin mekanik özellikleri. İnce filmlerin elektrik özellikleri. İnce filmlerin magnetik özellikleri. İnce filmlerin optik özellikleri
İcerik(İngilizce): Some basics. Vacuum physics and technology. Thin film deposition methods. Thermal evaporation, sputtering, laser ablation, chemical vapor deposition. Basic properties of thin films. Thin film growth. Characterization of thin films. Epitaxy, themicrostructural evolution of thin films. Interdiffusion and Reactions in thin films. Mechanical properties of thin films. Electrical properties of thin films. Magnetic properties of thin films. Optical properties of thin films.